减少洁净室内的微粒。
根据工件发尘量可分为1~4个等级。根据清洁室内的清洁程度选择使用。
使用氟素系润滑脂。
使用带电防止袋并双层密封。
限制使用铜/氟/硅材质的环境下使用。
使用锂皂基系润滑脂。
尺寸与洁净系列相同。
密封为普通密封(不采用双层密封)。
在限制铜离子氟素的环境下使用。
外形尺寸与标准件相同。
